一、项目编号：DUTASZ-2022742（招标文件编号：DUTASZ-2022742）
二、项目名称：大连理工大学高精度原子层级刻蚀机采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：上海昊量光电设备有限公司
供应商地址：上海市松江区石湖荡镇长塔路945弄18号3楼D-15
中标（成交）金额：409.0000000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | 上海昊量光电设备有限公司 | 高精度原子层级刻蚀机；电源模块；腔室电缆；电脑及显示器；RF电源及自动匹配器；ICP电源及自动匹配器；薄膜真空计；水冷/加热下电极；晶圆夹持和背氦冷却；水冷机；水冷机电缆；四英寸石英压环带平边；六英寸石英压环带平边；进气弥散环；标准12路空间气路柜；气路分路进入腔室；气路柜电缆；6路标准无毒气路质量流量计；2路有毒气路质量流量计；分子泵包括阀门；干泵；泵电缆；腔室加热；管道加热；预真空室；预真空室隔离阀；预真空室干泵 | OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；Dell；Comdel；AE；英菲康；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；Julabo；Julabo；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORDINSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；MKS；MKS；普发；普发；普发；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；OXFORD INSTRUMENTS；普发 | PlasmaPro 100；PlasmaPro 100；PlasmaPro 100；天逸510S；300W；3kW；100mT；0-400；4/6inch；FP51；5M；100mm wafer, 32.5mm flat；150mm wafer, 57.5mm flat；ICPCVD；PlasmaPro 100；PlasmaPro 100；5M；non-toxic；toxic；ATH1600MT；A124H ELT；5M；PlasmaPro 100；PlasmaPro 100；PlasmaPro 100；PlasmaPro 100；ACP15G； | 1套；1套；1根；1套；1套；1套；1台；1个；1套；1台；1根；1个；1个；1个；1套；1个；1根；1台；1台；1套；1台；1根；1套；1套；1套；1套；1台 | 639500元；23400元；14300元；21900元；332600元；470500元；23400元；313900元；117600元；156500元；19300元；19400元；23400元；13700元；290500元；7400元；12100元；172700元；108100元；337300元；219500元；24700元；13300元；9300元；392200元；180300元；133200元 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
张扬（自选）、曹永泽（自选）、刘艳红（自选）、张炳烨（自选）、黄火林
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：详见招标文件
本项目代理费总金额：2.4295000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：大连理工大学
地址：辽宁省大连市高新园区凌工路2号大连理工大学科技园大厦C座411室
联系方式：李老师/孙老师；0411-84709969/84706297
2.采购代理机构信息
名 称：大连佳沐项目管理有限公司
地 址：大连甘井子区辛康园19号2楼
联系方式：张恒；0411-86306211
3.项目联系方式
项目联系人：张恒
电 话： 0411-86306211